Lors des processus de gravure pour la fabrication de semi-conducteurs, les thermomètres à résistance fournissent une mesure très précise de la température. Des revêtements spéciaux en plastiques résistants aux acides protègent les capteurs de température contre les acides et les vapeurs.

Lors de la séparation physique ou chimique des gaz dans des fours horizontaux et verticaux, seuls des thermocouples sont utilisés.
Des Spike Thermocouples sont utilisés sur la surface des tubes de processus pour l’alimentation du chauffage. Ils sont reliés par des éléments de fixation en céramique spéciaux qui pressent le capteur de manière optimale contre la surface en quartz. À l’intérieur se trouvent des thermocouples de profil pour surveiller le processus. Des wafers avec thermocouples pour la surveillance directe des processus (assurance qualité) sont utilisés pour l’étalonnage et la détermination du profil de température dans le four.

Pour la mesure de température dans les installations de dopage, nous proposons entre autres des thermocouples multipoints spéciaux. Ils sont principalement utilisés comme thermocouples multipoints à 5 points et fabriqués à partir de métaux précieux. L’utilisation de verre de quartz et la combinaison de céramiques sont adaptées aux conditions particulières dans les installations de dopage.

Pour la mesure de la température dans ces installations de cristallogenèse, on utilise des thermocouples haute température spéciaux qui doivent également résister à des rapports de pression changeants : du vide élevé à une pression de 200 bar.

Le défi pour les thermomètres dans la fabrication d’emballages est de devoir mesurer la température très rapidement lorsque du plastique liquide enrobe la puce. Ce sont exclusivement des thermocouples gainés très fins et robustes avec des temps de réaction très courts qui sont utilisés.