Capteurs pour l’industrie des semi-conducteurs

 

Les capteurs de température sont nécessaires sur l’ensemble du processus de fabrication de semi-conducteurs.

Nous sommes adaptés aux conditions de fabrication spécifiques de l’industrie de semi-conducteurs.

Notre expertise comprend l’utilisation de matériaux et de combinaisons de matériaux spécifiques rendant possible les applications

les plus sensibles.

L’utilisation de verre de quartz et la combinaison avec de la céramique en font partie, par exemple pour les tubes de protection

en quartz, saphir et silicium.

Les thermocouples étanches à la pression et au vide, les thermocouples haute température et les capteurs résistants à la corrosion

pour les processus de gravure font également partie des domaines dans lesquelles nous sommes spécialisés.

Nous utilisons une salle blanche de classe 5 spécialement pour l’industrie des semi-conducteurs, pour ainsi garantir le respect des

exigences de qualité les plus élevées.


PROCESSUS DE GRAVURE

Lors des processus de gravure pour la fabrication de semi-conducteurs, les thermomètres à résistance fournissent une mesure très précise de la température. Des revêtements spéciaux en plastiques résistants aux acides protègent les capteurs de température contre les acides et les vapeurs.

PROCÉDÉS DE REVÊTEMENT CVD ET PVD

Lors de la séparation physique ou chimique des gaz dans des fours horizontaux et verticaux, seuls des thermocouples sont utilisés.
Des Spike Thermocouples sont utilisés sur la surface des tubes de processus pour l’alimentation du chauffage. Ils sont reliés par des éléments de fixation en céramique spéciaux qui pressent le capteur de manière optimale contre la surface en quartz. À l’intérieur se trouvent des thermocouples de profil pour surveiller le processus. Des wafers avec thermocouples pour la surveillance directe des processus (assurance qualité) sont utilisés pour l’étalonnage et la détermination du profil de température dans le four.

SYSTÈMES DE DOPAGE

Pour la mesure de température dans les installations de dopage, nous proposons entre autres des thermocouples multipoints spéciaux. Ils sont principalement utilisés comme thermocouples multipoints à 5 points et fabriqués à partir de métaux précieux. L’utilisation de verre de quartz et la combinaison de céramiques sont adaptées aux conditions particulières dans les installations de dopage.

PROCESSUS DE CROISSANCE DES CRISTAUX (PROCÉDÉ CZOCHRALSKI)

Pour la mesure de la température dans ces installations de cristallogenèse, on utilise des thermocouples haute température spéciaux qui doivent également résister à des rapports de pression changeants : du vide élevé à une pression de 200 bar.

PROCESSUS D'EMPAQUETAGE (PROCESSUS BACKEND)

Le défi pour les thermomètres dans la fabrication d’emballages est de devoir mesurer la température très rapidement lorsque du plastique liquide enrobe la puce. Ce sont exclusivement des thermocouples gainés très fins et robustes avec des temps de réaction très courts qui sont utilisés.


 

 

  • Salle blanche de classe 5

     

  • Capteurs résistants aux acides pour les processus de gravure

     

  • Capteurs étanches à la pression et au vide

     

  • Souffleurs de verre de quartz disponibles à tout moment

     

  • Capteurs avec temps de réaction très courts 

N’hésitez pas à me contacter si vous avez des questions via le formulaire ci-dessous.

Je me ferai un plaisir de vous répondre dans les plus brefs délais.

Jean-Pierre Descamps (francophone), Technico-commercial,  jp@tempco-sensors.nl

 

TEMPCO Br Semi Conducteurs
PDF – 6,2 MB 10 téléchargements